Métrologie 3D

Altisurf 520 TPR est le premier instrument au monde de métrologie des surfaces 3D optique et contact faible force des micro alésages. Il permet la mesure de l'état de surface et de la forme en micro diamètre intérieur jusqu'à 100 ?m. Il possède les spécifications-type de haute précision et d'architecture en portique granit de l'AltiSurf520, avec une mesure multisonde à optique confocale chromatique, de dynamique 350 ?m et 100 ?m, associée à une caméra CCD de haute résolution, ainsi qu'à un micro-palpeur inductif en carbone tungstène de diamètre 35 ?m et tip-radius 2 ?m. La résolution de mesure est de 5nm et autorise des mesures métrologiquement capables sur des états de surfaces de Ra 0.1 ?m. Ses axes sont motorisés à courant continu, avec 9 axes intégrés : X mesurant à codeur 0.1 ?m, YZ de positionnement et mise en dynamique des sondes à codeur 0.5 ?m, X'Y'Z' à codeur 90 nm de mise en confusion de la pièce à mesurer, théta et Phi goniométriques d'inclinaison et rotation, Phi' de positionnement des alésages.